该系统可针对硬质合金切削刀片等各类工具或零部件涂覆TiC、TiN、TiCN、α-Al2O3、 κ-Al2O3等单层及多层复合硬质化薄膜材料。CVD涂层与基体结合强度高，附着力强，均匀性好，形状复杂的工件也可得到均匀的镀层，薄膜厚度可达5-20μm。
       设备配有双反应腔室，经济高效，维护成本低，安全环保，并可灵活满足未来不断提升的CVD工艺需求。